產(chǎn)品大類

解決方案與產(chǎn)品應(yīng)用

11.3.2半導(dǎo)體電阻型氣敏器件

更新時間：2014-12-11 16:25:16

應(yīng)用介紹

文摘：
 tag:濕度傳感器
電阻型半導(dǎo)體氣敏元件的敏感部分是金屬氧化物半導(dǎo)體微結(jié)晶粒 
子燒結(jié)體，它是由以 金屬氧化物為基體材料，添加不同物質(zhì)在高
溫下繞結(jié)而成的,在燒結(jié)體的內(nèi)部還裝有測定電 阻的電極。由于半
導(dǎo)體材料的特殊性質(zhì),氣體在半導(dǎo)體材料顆粒表面的吸附可導(dǎo)致材
料載子濃度發(fā)生相應(yīng)的變化,從而改變半導(dǎo)體元件的電導(dǎo)率，氣敏
元件電阻值的變化是伴隨著金屬氧化物半導(dǎo)體表面對氣體的吸附
及釋放而發(fā)生的。為了加速這種反應(yīng),通常在氣敏元件中設(shè)置有加
熱器。加熱器一般為加熱絲結(jié)構(gòu)，有的直接燒結(jié)在金屬氧化物燒
結(jié)體內(nèi),有 的則放在燒結(jié)體的外部。在氣敏元件的外部還裝有不銹
鋼絲網(wǎng)罩對元件進(jìn)行保護(hù)。用半導(dǎo) 體氣敏元件組成的氣敏傳感器
主要用于工業(yè)上,如天然氣、煤氣、石油化工等部門的易燃、易 爆、
有毒、有害氣體的監(jiān)測、預(yù)報和自動控制。