中文字幕视频综合网,亚洲欧美国产欧美色欲,成年精品在线播放视频,亚洲中文字幕在线观看,日韩av片无码一区二区不卡电影,AV电影在线播放一区二区

近年來，大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路發(fā)展迅速，其中半導(dǎo)體領(lǐng)域相關(guān)的研發(fā)及生產(chǎn)技術(shù)也在極速發(fā)展。在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，大規(guī)模集成電路制造過程離不開光刻和刻蝕技術(shù)，是精細(xì)線路圖形加工中重要的工藝，其中重要的原材料就是輻照光敏材料—光刻膠，也稱為光致抗蝕劑。

光刻膠分為正膠和反膠，其區(qū)分依據(jù)就是顯影及化學(xué)反應(yīng)機(jī)理不同，光照后形成不可溶物質(zhì)的是負(fù)膠，反之，經(jīng)過光照后形成可溶物質(zhì)的即為正膠。光刻膠的具有以下幾種重要參數(shù)特性：

①   分辨率：區(qū)別硅片圖形特征的能力，分辨率越高，制作出來的半導(dǎo)體的尺寸精度越高。

②   敏感度：光刻膠產(chǎn)生一個(gè)良好的圖形需要一定波長的能量光。光刻膠的敏感性對于波長更短的紫外光尤為重要。

③   粘滯性/黏度：粘滯性/黏度是衡量光刻膠流動(dòng)特性參數(shù)。高的粘滯性會(huì)產(chǎn)生厚的光刻膠；越小的粘滯性，制作出來的光刻膠厚度越均勻，簡單來說就是粘滯性越小，流動(dòng)性越好，制作出來的光刻膠越好。

④   粘附性：粘附性表征光刻膠粘著于襯底的附著力。粘附性不足會(huì)導(dǎo)致硅片表面圖形變形，在后續(xù)的工藝中，粘附性尤為重要。

⑤   抗蝕性：在光刻膠后續(xù)的刻蝕工序中，需要保護(hù)好襯底表面，需要光刻膠有一定的抗蝕性，耐熱穩(wěn)定性和抗離子轟擊能力。

在光刻膠生產(chǎn)過程中，一個(gè)合適的生產(chǎn)車間尤其重要，需要具備以下幾個(gè)特點(diǎn)：

①   車間的工作人員感到室溫舒適的范圍。車間的濕度如果過高會(huì)使人覺得氣悶，過低會(huì)使呼吸道不適，從而影響工作。

②   靜電荷的控制：當(dāng)濕度小于30%RH時(shí)，靜電會(huì)在絕緣體中存在很長一段時(shí)間，半導(dǎo)體生產(chǎn)車間一般會(huì)使用額外的濕度控制及防靜電裝置以限制靜電荷累積。

③   車間的濕度如果控制不好，容易造成車間里的金屬腐蝕，加快設(shè)備的老化。

④   粘附性受到車間的濕度影響，在高濕度的生產(chǎn)設(shè)備中，濃縮水型的毛細(xì)管在顆粒和表面之間形成了連接鍵，增加膠粒與硅片的粘附性，當(dāng)濕度控制在70%RH，這種效果尤為明顯。

⑤   相對濕度和溫度對于光刻膠的穩(wěn)定性有極大的影響。光刻膠對于相對濕度極為敏感，對于后續(xù)生產(chǎn)的精確尺寸控制有很大的作用。

由此可見，相對濕度和溫度的控制非常重要，溫濕度傳感器HTU21D常用于生產(chǎn)車間的溫濕度控制，對于生產(chǎn)制造環(huán)境苛刻的產(chǎn)品制造極為重要

優(yōu)點(diǎn)：

完全可互換，無需重新校正

長期飽和后迅速恢復(fù)

適合無鉛回流焊等自動(dòng)化裝配方式

單獨(dú)標(biāo)識，符合嚴(yán)格的追溯要求