產(chǎn)品大類

解決方案與產(chǎn)品應用

半導體行業(yè)VOC氣體制程管控

更新時間：2023-12-29 16:38:08

應用介紹

    半導體行業(yè)作為高新技術產(chǎn)業(yè)往往被人誤解為 “清潔”產(chǎn)業(yè)，但事實上，半導體生產(chǎn)過程中使用了大量有機和無機物，包括許多有毒有害物質，對環(huán)境危害較為嚴重，如不加以控制，將會產(chǎn)生較大的環(huán)境污染。半導體工藝對操作室清潔度要求極高，通常使用風機抽取工藝過程中揮發(fā)的各類廢氣。半導體行業(yè)廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點，以揮發(fā)為主。



    半導體行業(yè)VOCs廢氣主要來源于光刻、顯影、刻蝕及擴散等工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙醇）對晶片表面進行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一；同時，在光刻、刻蝕等過程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機溶劑，如醋酸丁酯等，在晶片處理過程中也要揮發(fā)到大氣中，是有機廢氣產(chǎn)生的又一來源。

      半導體生產(chǎn)制程包含精密的微機電和集成電路，對于生產(chǎn)環(huán)境之潔凈度的要求特別嚴格，因此整個制造過程都必須在嚴格控制的環(huán)境條件下進行。 隨著制程特征尺寸（feature size）快速縮小，潔凈室環(huán)境空氣質量的要求也更為嚴苛。對于半導體制程VOC的監(jiān)測以下幾個環(huán)節(jié)：全廠環(huán)境監(jiān)測；濾網(wǎng)效能檢測；制程中晶圓搬運盒潔凈度檢測；廠內主要氣質檢測；制程污染鑒定等。



     在這里，深圳新世聯(lián)科技有限公司給大家推薦一款VOC氣體傳感器PID-AH5， PID-AH5傳感器的英國Alphasense公司研發(fā)的光離子化傳感器專門用于檢測VOCs氣體的傳感器，該傳感器是一款簡單的即插即用式傳感器，能在多種不同應用中對數(shù)千種揮發(fā)性有機物（VOCS）提供動態(tài)且可靠的響應。該傳感器專為擴散式和在線式泵吸式設計，提供出色的響應時間和清除率，采用特殊亮度和穩(wěn)定性的燈泡，能夠在較長時間內可靠地檢測揮發(fā)性弱和不易檢測的化合物。

 



          PID-AH5傳感器的主要性能如下：

          線性范圍：1ppb-40ppm（異丁烯）

          T90響應時間：2s

          典型靈敏度：50mV/ppm

          燈泡能量：10.6ev

          功耗：80mW-200mW（取決于供電電壓）

          供電電壓：3.2-5.5VDC

          輸出信號：0.040-2.85V